晶圆输送环节对运行环境的振动控制有着严苛要求，细微的振动传导都可能影响输送定位精度，甚至造成晶圆表面的微观损伤。空气悬浮风机依托无接触悬浮直驱的结构特性，从动力源层面大幅降低了自身运行产生的机械振动，避免传统传动结构硬连接带来的高频振动向外扩散。

风机安装阶段采用适配性的隔振结构，可阻断设备运行过程中剩余的微幅振动向地面和周边机架传导，不会通过公共地面传递到晶圆输送的支撑结构上。进出口管路与风机本体之间采用柔性连接结构，避免刚性接管形成振动传递桥，让气流输送过程中的脉动振动不会顺着管路延伸到洁净室的输送设备周边。

设备运行过程中可通过控制系统动态调节运行参数，让风机的运行频率避开晶圆输送系统的固有振动区间，从根源上避免共振现象的发生。稳定均匀的气流输出不会产生额外的气流冲击振动，保障输送区域的气流环境平稳，不会因气流扰动带动晶圆输送台出现微幅抖动，让晶圆输送的全流程始终处于低振动的稳定状态，适配半导体精密输送场景的运行要求。